西安励德微系统科技有限公司（LeadMEMS Sci&Tech）创办于2010年10月，是由西北工业技术研究院和陕西省微/纳米系统实验室共同投资成立，是以MEMS微机电系统为开发方向的高科技企业，公司拥有专业稳定的研发团队（本科以上学历占比为72%），同时实验室拥有无尘室700平方米，各类微加工设备40余台，总值三千万元，具备多种微加工和微器件的静态、动态性能测试能力。公司目前已开发成功了广受好评的泛结构化MEMS集成设计工具软件，打破了国外产品垄断。公司目前在微型扫描镜以及微型光栅方面取得了国内领先地位，公司还可以提供MEMS的加工技术服务，工艺机构设计以及MEMS结构版图绘制咨询

公司对外提供的MEMS工艺服务包括：单面光刻/双面光刻，硅-玻璃阳极键合，KOH/TMAH湿法腐蚀，干/湿法氧化，多晶硅/氮化硅/二氧化硅低压化学气相沉积（LPCVD），多晶硅/氮化硅/二氧化硅反应离子刻蚀（RIE），硅深槽刻蚀（DRIE），化学机械抛光（CMP），快速热退火（RTA），划片，平行缝焊，台阶测试，表面轮廓测试，激光多普勒测试，方块电阻测试，IV测试，CV测试等。