实验室-依托

实验室-属性

实验室-领域

实验室-设备

实验室-团队

实验室-依托

江苏省薄膜材料重点实验室依托：苏州大学。

实验室-属性

江苏省薄膜材料重点实验室（江苏省重点实验室）于1997年正式成立。实验室主要从事薄膜材料的制备、结构和性能的基础性研究，并积极开发它在各方面应用的关键技术和工艺，是江苏省功能薄膜材料研究及高层次人才培养的基地。现任实验室主任为沈明荣教授。

实验室-领域

实验室的主要研究方向是：

1）微电子、光电子和磁电子薄膜材料的制备、结构与性能。如多孔硅基低介电常数薄膜；高介电常数铁电薄膜；半金属巨磁电阻薄膜；硅基和氧化锌发光薄膜；铁电、磁多层薄膜等。

2）用于薄膜材料沉积的新型等离子体源。如微波ECR等离子体沉积系统；双频RF-CCP/ICP沉积系统；并列式天线大面积等离子体源等。

3）薄膜沉积和刻蚀过程和机理研究。如放电等离子体中的各种反应基团的行为和分布；薄膜沉积，团蔟、纳米颗粒的形成机理；器壁对基团和材料合成的效应等。

实验室-设备

经过近10年的建设和运行，实验室拥有了多种薄膜材料制备设备，如微波ECR等离子体化学气相沉积系统、双频RF-CCP/ICP化学气相沉积系统、多靶磁控溅射系统、脉冲激光沉积系统、双离子束溅射系统等。实验室还拥有多种薄膜材料的结构与性能的检测仪器，如大功率XRD、原子力显微镜、红外吸收谱仪、荧光光谱仪、振动样品磁强计、阻抗测试分析仪、表面轮廓仪、磁电阻低温测试台等。实验室成立以来，先后承担了国家863计划、国家攀登计划、国家自然科学基金以及江苏省各类基金近百项，获得省部级以上的奖励7项。近年来平均每年发表SCI、EI收录论文约50篇。在金属颗粒复合材料的非线性光学和电磁性质、微波ECR等离子体沉积薄膜材料等方面均开展了有显著特色的工作 。实验室招收和培养凝聚态物理、材料物理与化学、等离子体物理专业的博士或硕士研究生。

实验室-团队

实验室目前有固定人员21人，其中教授12人，具有博士学位的年轻教师16人。已形成了一支有高水平学术带头人的、以年轻博士为主体的、结构合理、团结协作、凝聚力强的队伍。