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词条 基板校正装置
释义

基板校正装置,其包括承载台和多个滚动件。承载台包括多个侧边、底面以及感应器,感应器设在底面上以确认基板是否放至定位,而滚动件设在侧边和底面上。当基板由机械手传送至承载台时,可利用滚动件使基板校正到承载台上的适当位置。

【 权利要求 】 一种基板校正装置,包括有: 一承载台,包括一底面和一周边,所述底面与所述周边连接;和 多个滚动件,设在所述周边和所述底面上。

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更新时间:2024/12/23 15:54:09