光学标准平面是一个经过精密抛光的表面。它作为参考面，可对未知表面进行比较检测。这些标准镜可用于许多方面，如；测量块规的磨损和精度，测量窗口、棱镜、滤色片和反射镜等各种元件的面形精度。它们也可作为干涉仪中的标准平面镜。

光学标准平面的面形精度

对抛光表面的面形测量是靠被测面与参考面之间的条纹弯曲量来确定的。

面形精度等于干涉条纹的弯曲量比上条纹间距。

N=h/H

干涉条纹直、彼此平行、条纹间距相等表示被测面的面形精度好或等于参考平面的面形精度。