词条 | 高纯气体系统用气体过滤器 |
释义 | 高纯气体系统用气体过滤器(UsedinHighPurityGasSystemGasFilter) 气体工业名词,是依据碰撞,扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉的装置。集成电路发展到兆位级后,对超净提出了更严格要求。SEMI标准对10011级以管道供给的氮和氩气中规定≥011Lm粒子≤014个L;16MDRAM用气中>011Lm的粒子<1个L。在超高纯气体或电子气体供气系统中,为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子,应在阀门和配件下游和使用气前安装过滤器。粒子过滤器的选型及规格视气体控制规范而定。过滤器壳体一般采用316不锈钢,滤芯有烧结的多孔金属滤芯,耐腐蚀耐热的镍基合金,100%镍合金,铝陶瓷,Teflon膜,陶瓷膜等。 |
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