结构特点

适用范围

应用

超高纯单级减压阀、提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断，避免内漏内部无弹簧无螺纹设计，更洁净。单级式不锈钢膜片减压结构，输出压力稳定，适用于纯净气体、标准气体、腐蚀性气体等。

结构特点

单级式减压结构

母体与膜片采用硬密封形式〔可抽真空〕

母体螺纹︰1/4″ NPT〔F〕

内部结构易吹扫

内设过滤网

可采用面板式或墙式安装

适用范围

实验室

气相色谱仪

气体激光器、照明

气体汇流排、太阳能光伏产品

石油化学工业

测试设备

应用

高纯气源分配

扩散炉

单晶硅

特气

研发系统

半导体OEM