从阴极发射出来的自由电子，在电场力的作用下，向阳极作加速运动，在奔向阳极的途中与介质的中性质点发生碰撞，如果电子的运动速度足够高，其动能大于中性质点的游离能时，便使中性质点游离为新的自由电子和正离子，这种游离过程称碰撞游离。