超硬膜是指硬度> 40GPa、具有优异的抗摩擦磨损性能、高的热导率、低的摩擦系数和热膨胀系数的固体薄膜。这类薄膜的硬度可分为本征硬度和非本征硬度。具有本征硬度的超硬膜主要有金刚石、c－BN、BC4和一些三元化合物B2N2C 等
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