什么是残气分析仪

原理

应用

什么是残气分析仪

真空环境要求检测当前气体的组成以及测量总的压力。用于此种目的的仪器就称为残气分析仪（Residual Gas Analyzers）或者分压分析仪。

原理

残气分析仪是一个小体积的质谱仪，可直接连接在真空系统上，所有残气分析仪的工作原理都是一样的：一小部分的气体分子被离子化（阳离子），继而根据质量数的不同被分离，检测。

应用

残气分析仪广泛应用于残气环境中不同气体分子的快速鉴定，通过适当的校准，可用于测定不同气体浓度或者每个气体组分的绝对分压。