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词条 半导体材料国家工程研究中心
释义

中心简介

北京有色研究总院1957年开始硅材料的研究。1958年10月成立了国内第一个硅材料研究室,系统地开展了硅多晶、单晶及其性能测试的研究工作。1965年利用自己的成套技术设计建成了我国第一个硅材料厂————四川峨眉半导体材料厂。后又参与从日本引进全套硅厂的筹备工作,于1966年建立洛阳单晶硅厂。

1991年11月成立了半导体材料国家工程研究中心,中心有高级研究员48名,固定资产3亿元人民币。中心在半导体材料单晶生长技术、半导体材料晶片加工技术、半导体材料缺陷的形成机理与消除措施领域开展了深入的研究。并在此基础上取得了很多开创性的研究成果,在国内处于领先地位。

中心具有单晶生长、切片、磨片、腐蚀、抛光、清洗及检测工艺;具有高精度的晶体生长、切、磨、抛设备和超净环境;具有整套置于超净环境中的测试、清洗、包装设备;具有相应的纯水、气体和化学试剂等辅助条件和设施。

生产线

1.超大规模集成电路用直拉单晶及抛光片的生产线;

2.功率器件用区熔硅单晶及晶片生产线;

3.光电子器件用Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体单晶及晶片的生产线。

主要产品

1、φ3" -φ8" 直拉硅单晶及抛光片;

2、φ3"、φ4"区熔硅单晶及晶片

3、φ2"、φ3" Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体(直拉及水平砷化镓、磷化镓、锑化镓、磷化铟)单晶及晶片。

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更新时间:2025/1/31 15:43:17