XeOF4是一种比较稳定的氙化合物，它在常温下是一种无色液体，分子形状是四方锥形，熔点约为-46℃（227K），可以由六氟化氙通过不完全水解获得。

XeF6+H2O==XeOF4+2HF↑

（完全水解发生的反应为XeF6+3H2O==XeO3+6HF↑）

需要注意，HF，即氟化氢，具有强腐蚀性和刺激性，所以必须做好防护。