| 词条 | MEMST |
| 释义 | MEMST是中国微米纳米学会的专业MEMS交流论坛，涉及MEMS行业的新闻资讯、市场调查与分析、半导体薄膜技术、MEMS工艺、MEMS传感器、MEMS设计仿真、MEMS封装测试、纳米技术等行业领域，并且提供最新相关的MEMS会议会展、技术培训以及MEMS招聘求职信息等。 简介MEMST的英文全称是MEMS technology，中文名称是MEMS技术天地，在2011年7月成为由清华大学主办的中国微米纳米学会的MEMS交流论坛，它面向现代化技术领域的MEMS行业，提供最新的新闻资讯，并做市场调查与分析。该MEMS论坛不仅涉及传统半导体薄膜技术，而且还展示了目前主流的MEMS工艺，介绍了多种MEMS传感器，诸如MEMS压力传感器、微型陀螺仪、MEMS加速度计、MEMS声学麦克风、非制冷MEMS红外探测器以及射频MEMS器件、光学MEMS器件、生物MEMS器件、微型飞行器、微型机器人等。 在MEMS设计方面，MEMST（MEMS技术天地）开辟了专项的综合栏目，涉及到MEMS器件的结构仿真、版图设计；在MEMS封装测试方面，提供了传统的半导体工艺栏目、晶圆级封装、MEMS真空封装栏目；并提供最新的纳米技术应用等领域。 MEMST（MEMS技术天地）还免费为大家提供最新的MEMS会议会展、技术培训，以及最新的MEMS招聘、求职信息等。 网站宗旨MEMST（MEMS技术天地）是目前中国MEMS研发人员的主要交流论坛，由中国微米纳米学会组织承办，涵盖的MEMS技术、MEMS传感器、MEMS陀螺仪、MEMS设计、MEMS工艺以及MEMS相关领域，为广大MEMS研究者，旨在为广大MEMS从业者、研发人员或者其爱好者提供一个免费的获取信息和交流信息的平台！大力推进微机电系统MEMS技术在中国的发展！ 网站文化分享、交流、自由、激情、进步 网站栏目微机电系统综述该栏目主要传播微机电系统MEMS技术领域内的最新动态和资讯，包括最新的MEMS行业动态、市场调查分析、MEMS研究院所、MEMS公司名录、MEMS行业著名人物的观点、MEMS招聘和求职。 薄膜及微细加工技术MEMS技术在半导体集成电路工艺技术基础上延伸和拓宽起来的，该栏目设计光刻、刻蚀、薄膜淀积技术、掺杂退火、深刻蚀与键合、释放与残余应力、度量检测、晶圆制备与外延。 MEMS工艺MEMS技术工艺主要包括表面牺牲层技术、体硅技术、LIGA/UV-LIGA以及EFAB技术。其中，著名的表面牺牲层技术，有美国的MEMSCAP工艺以及SUMMiT工艺。 MEMS学科领域该栏目介绍多种主流的MEMS传感器，包括MEMS压力传感器、微惯性传感器、MEMS声学传感器、非制冷EMS红外热传感器、光学MEMS/MOEMS、射频MEMS/RF MEMS、微能源系统、微流控系统、生物MEMS/Bio-MEMS、微型飞行器/微型机器人以及其它利用MEMS技术的传感器件。 MEMS器件设计与仿真MEMS行业的设计仿真软件主要有Intellisuite、CoventorWare。 封装测试该栏目包括传统的半导体封装技术，还包括MEMS封装、晶圆级封装以及可靠性测试。 科研辅助该栏目为为MEMS从业人员和研发人员提供最新的会议会展和技术培训信息、科研项目申请知道以及项目管理知识。 网站发展历史2010年5月，经过近乎半年的调研，MEMST（MEMS技术天地）网站创建； 2011年7月，MEMST（MEMS技术天地）网站与中国微米纳米学会合作，成为其下属的专业MEMS交流论坛。 未来的5-10年中，MEMS技术在中国将有翻天覆地、如火如荼的发展！MEMST（MEMS技术天）也随之也会发展壮大，希望各位会员也能积极参与MEMS事业中。 MEMS简介MEMS是英文Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写，中文名称是微机电系统技术。因为在各国起源以及发展的侧重点不同，尚没有一致的概念和定义。美国对MEMS技术的研究是在半导体集成电路工艺技术基础上延伸和拓宽起来的，并且强调融合了微细机械加工技术，故称之为MEMS，这也是目前广为使用的称谓。而在欧洲称之为Microsystem，更强调系统级的观点，即将微型化的传感器、执行器、处理电路等元部件集成化为一个智能化的有机整体，可以进行信息获取、处理和执行等功能。 综合上述两点，将MEMS技术定义为材料主要为硅、尺度微米级的器件或这些器件的组合，将电子功能与机械特性、光学或者其它功能结合起来的系统。 |
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