可用作研磨材料、并且在用作研磨材料时能够获得高研磨面精度的被研磨面的主成分为铈氧化物的氧化物固溶体粉末。采用以氧化铈为主成分的稀土类氧化物中固溶有钙氧化物的氧化物固溶体研磨玻璃基板等玻璃材料时，能够获得高研磨面精度的被研磨面，非常适合用作研磨材料。使钙元素固溶于以氧化铈为主成分的稀土类氧化物中，能够提高化学研磨力，并能够得到更高的研磨面精度。

【 权利要求 】 氧化物固溶体粉末，其特征在于，钙氧化物固溶于以铈氧化物为主成分的稀土类氧化物。