1983、1986、1994年分别在清华大学无线电电子学系、中国科学院电子学研究所、英国剑桥大学工程系电子工程专业获得学士、硕士和博士学位。1990年获得皇家学会Royal Fellowship，并两次（2001-2003年、2004-2007年）获得英国皇家学会国际合作项目； 1998年曾赴香港科技大学电机与电子工程系进行短期合作研究；获得美国加州大学伯克利分校2002－2004年度Berkeley Scholarship，多次赴伯克利传感器与执行器中心(BSAC)开展合作研究工作。

1995年至今在中国科学院电子学研究所工作，目前任研究员、博士生导师、所学术委员会和学位委员会委员，并担任传感技术联合国家重点实验室北方基地主任。主要从事传感器及其系统、微机电系统(MEMS)技术研究。 曾担任国家“十五”863计划微机电系统（MEMS）重大专项总体专家组成员。作为项目负责人或首席科学家，先后承担国家自然科学基金、973、863等二十余项国家级科研项目，发表论文二百余篇，作为第一发明人获得中国发明专利九项。在电场传感器、生物微传感集成化芯片系统（SOC）等方面取得多项创新研究成果。指导的研究生多人获得各类奖项，其中三人获得中国科学院院长奖学金优秀奖。