基本信息

内容简介(作者简介 目录)

基本信息

出版社: 国防工业出版社; 第1版 (2005年8月1日)

平装: 238页开本: 16开

ISBN: 7118040320, 9787118040326

条形码: 9787118040326

产品尺寸及重量: 22.8 x 16.9 x 1 cm ; 322 g

ASIN: B0011AW1A0

内容简介

本书针对制造技术的最新进展与需求，以微米尺度零件的加工为主线，力求使读者能较为准确地理解和掌握微机械与微细加工技术的基础知识和常用微细加工方法的基本原理及应用。主要内容包括：微型机械与微细加工的基础知识；微细切削加工;；半导体材料的微细加工技术；微细电加工等微细特种加工技术；高能束流微细特种加工技术；纳米加工技术；生长型微细加工技术；典型微机械产品及其采用的微细加工技术等。

本书适合于研究生和高年级本科生及从事微细加工研究的教师和工程技术人员参考使用。也是相关人士了解最新微细加工技术的一本参考书。

作者简介

王振龙，哈尔滨工业大学机械制造及自动化系博士生导师。 1983.9-1987.7，哈尔滨工业大学机械工程系本科生，学士学位。 1987.9-1990.1，哈尔滨工业大学机械工程系硕士生，硕士学位。 1997.3-2000.8，哈尔滨工业大学机电学院，博士生，博士学位。 2001.5-2004.4，哈尔滨工程大学控制科学与理论，博士后。 1990.1-1998.9，哈尔滨工业大学威海分校，助教（1990-1992），讲师（1992-1996），副教 （1996-1998），教研室副主任（1992-1997）。 1998.9-现在，哈尔滨工业大学机械制造及自动化系，副教授（1998-2001），教授（2001-），博士生导师（2003-），系副主任（2002-）。 黑龙江省机械工程学会理事，黑龙江省特种加工学会主任委员，中国机械工程学会微纳米制造分会委员，全国高校特种加工教学研究会秘书长，日本精密工学会正会员，中国机械工程学会特种加工分会教育培训委员会副主任。 近年来先后完成和正在承担国家自然科学基金重点及面上项目、国家863计划项目、总装备部预先研究项目、国防科工委基础科研项目等10余项。在微细加工工艺与装备、基于电火花加工的新方法、多轴联动数控技术等方面取得多项成果。在国内外学术刊物上发表论文70余篇，其中被SCI、EI等检索系统收入20余篇，获国防科技3等奖1项，获国家专利3项，主编、参编著作、教材7部。

目录

第1章 微型机械与微细加工概论/1

1.1 微机械及其特点/1

1.2 微细加工技术的概念及其特点/4

1.3 微细加工技术的分类/6

1.4 微细加工技术的应用/9

1.5 发展微细加工技术的意义/15

参考文献/17

第2章 微机械与微细加工理论基础/18

2.1 微机械学/18

2.2 微电子学/33

2.3 微光学/37

2.4 分子装配技术/39

2.5 微细加工机理/41

参考文献/4l

第3章 微细切削加工技术/44

3.1 微切削加工机理与物理特性/44

3.2 微细车削加工技术/50

3.3 微细铣削加工技术/58

3.4 微细钻削加工技术/65

3.5 微细冲压加工/69

3.6 微细磨料喷射加工/7l

3.7 微细切削加工工作环境/74

参考文献/75

第4章 微细电加工技术/77

4.1 微细电加工技术概述/77

4.2 微细电火花加工的特点与实现条件/79

4.3 微细电极的在线制作与检测/83

4.4 微细电火花加工中的脉冲电源与控制系统/90

4.5 微细电火花加工装备/95

4.6 微细电火花铣削加工技术/100

4.7 微细电火花线切割加工技术/108

4.8 微细电化学加工技术/111

参考文献/117

第5章 高能束流微细特种加工技术/118

5.1 电子束微细加工技术/118

5.2 离子束微细加工技术/126

5.3 激光微细加工技术/136

参考文献/150

第6章 半导体材料的微细加工技术/152

6.1 集成电路的工艺基础一一平面硅工艺/152

6.2 薄膜成形技术/154

6.3 掺杂技术/159

6.4 光刻技术/161

6.5 硅的体微加工技术/163

6.6 硅的表面微加工技术/171

6.7 键合技术/173

6.8