应用

特性

ZERODUR微晶玻璃

ZERODUR是一种热膨胀系数极低的微晶玻璃。

ZERODUR最重要的特性如下：

近乎于零的热膨胀以及出色的三维的均匀度

优秀的内部品质

良好的加工性能

可被抛光至极高的精确度

良好的可镀膜性能

低度的化学氦渗透性

无孔

优良的化学稳定性

应用

天文学:

30多年来，ZERODUR一直是与地球接连及天体运行轨道天文望远镜的主镜的最佳材质。由于ZERODUR可以被大批生产并具备可再制造的品质，因而适用于未来的20-100米等级的超大型望远镜装置。最现代的技术创造了制造轻量级结构的条件，使得其重量可以减轻65%之多。由于具备出色的零膨胀系数均匀性，ZERODUR成为将来X射线望远镜装置镜壳的的最理想材料。 微光刻技术为了能够达到精确的和可再复制晶圆定位，ZERODUR于晶圆光刻机中被用作可移动机械部件。由于ZERODUR具有近乎于零的热膨胀系数，出色的均匀性以及良好的加工性能使它成为将来反射光学系统的EUV光刻技术的理想的基本片材料。

测量技术:

具极低的热膨胀以及被证实的长期空间稳定性使ZERODUR成为测量设备中最理想的参考标准。

机械构造:

借助于现代加工技术，ZERODUR可运用于日益复杂的几何学。

其它用途:

ZERODUR在光学和红外线的光谱范围均有着良好的透射特性以及高度的光学均匀性，由于这点使ZERODUR也被应用于光学系统。

微光刻技术:

为了能够达到精确的和可再复制晶圆定位，ZERODUR于晶圆光刻机中被用作可移动机械部件。由于 ZERODUR具近乎于零的热膨胀，出色的均匀性以及良好的加工性能使它成为将来反射光学系统的EUV光刻技术的理想的基本片材料。

特性

热膨胀系数:

ZERODUR零膨胀微晶玻璃材料可根据客户的要求，提供片料、棒料及块料等。并且根据0°C~50°C的线性热膨

胀系数分为三个等级:

Expansion class 2 0 ±0.10*10-6 K-1

Expansion class 1 0 ±0.05*10-6 K-1

Expansion class 0 0 ±0.02*10-6 K-1

ZERODUR展现出色的线性热膨胀的均匀性，典型值介于0.01和0.02*10-6 K-1之间。根据要求我们也可供应均匀度< 0.01*10-6的产品。

ZERODUR通常可运用在温度直至600摄氏度，对于至800度的高温的应用，我们开发了新型材料ZERODUR K20。这种材料在20° - 700°C温度膨胀系数为2.0*10-6 K-1，室温下为1.5*10-6 K-1

内部品质:

以下是尺寸小于500毫米的标准ZERODUR的数据:

平均内含物值 5 / 100 cm3

单个内含物的最大直径 3.0 (1.4 within the critical volume)

条纹 (双折射) < 60 nm / striae

体积应力 (双折射) < 6 nm / cm

其他性质:

密度 2.53 g/cm3

20°C的导热系数 1.46 W/(m*K)

20°C的热扩散率 0.72*10-6 m2/s

热容量 0.8 J/(g*K)

20°C的强性模量 90.3 GPa

横向变形系数 0.243

努氏硬度 0.1/20 620