| 词条 | 气相沉积炉 |
| 释义 | 气相沉积炉计算机控制系统使用说明书
前言：下图为本控制系统对应的实际工作组成部件 ⑥ ⑴ 为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。 ⑵ 为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成，负责氩气和丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体。 ⑶ 2台滑阀泵负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内 ⑷ 过滤罐2台负责滑阀泵前级的粉尘排除， ⑸ 真空电动蝶阀2台在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速，使炉子工作在恒定的压力范围之内 ⑥ 加热磁性调压器，3台独立工作，完成炉温的控制 内容：为了使上述元器件能够协调工作，工作人员更具可操作性，用于控制的计算机设置了多重画面，多个运行参数，使得工作过程更加直观，操作更加简便，各操作画面解释如下。 启动初始画面， 按“进入工作系统”键进入主控画面，开始工作。主控制板在系统工作过程中起到整体监控作用，系统运行时的主要参数都反映在本画面当中 ⑴ 加热磁性调压器工作状态，显示“正常”、“故障”两种状态 ⑵ 报警滚动条，显示上电状态及有报警标志 ⑶ 实时曲线显示，反映当前三个温度和一个绝对压力随时间变化规律 ⑷ 炉内绝对压力数值显示，反映内部工作时的气体压力 ⑸ 充气管路上的电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小 ⑥ 炉内三个温区的温度数值显示，反映内部工作时的三个不同部位的温度 ⑺ 示意条显示气体流动方向 ⑻ 抽空管路上的电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小 ⑼ 示意条显示气体流动方向 ⑽ 抽空管路上的1#真空电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小 ⑾ 抽空管路上的2#真空电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小 ⑿ 抽空管路上的1#滑阀泵，显示该阀的工作状态包括正常运行、故障状态 ⒀ 抽空管路上的2#滑阀泵，显示该阀的工作状态包括正常运行、故障状态 ⒁ 功能按钮负责屏幕的切换，“气氛控制”切换至抽空管路的控制画面，“温度控制”切换至温度参数相关的控制画面，“加温工艺”切换至温度参数设定画面，“历史数据”切换至过去主意参数的记录信息画面，“事件记录”切换至过去运行过程中发生的事件的记录信息画面 “气氛控制”如下控制画面， 充气电动蝶阀调节器为反向调节器，抽空电动蝶阀调节器为正向调节器 ⑴ 显示该电动蝶阀的工作状态包括伺服、断电状态 ⑵ 炉内绝对压力数值显示，截取1000Pa以内的压力值，作为调节的控制反馈量 ⑶ 实时控制设定值，通过设定该参数使炉内压力保持恒定，需要充气蝶阀和抽空蝶阀配合动作 ⑷ 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示灯逐渐变亮， ⑸ 控制器手动指示，显示控制器当前的工作状态， ⑥ 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示进度条向右依次全部点亮 ⑺ 电动蝶阀的工作状态的控制按钮，该按钮显示伺服状态时，按下为蝶阀伺服，并显示断电，再次按下，蝶阀断电，并显示伺服，两控制器操作完全相同 按动页下面的“真空蝶阀”控制画面进入下一气氛控制画面，画面内容如下： ⑴ 显示该电动蝶阀的工作状态包括伺服、断电状态 ⑵ 炉内绝对压力数值显示，作为调节的控制反馈量 ⑶ 实时控制设定值，通过设定该参数使炉内压力保持恒定，需要充气蝶阀和抽空蝶阀配合动作 ⑷ 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示灯逐渐变亮， ⑸ 控制器手动指示，显示控制器当前的工作状态， ⑥ 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示进度条向右依次全部点亮 ⑺ 电动蝶阀的工作状态的控制按钮，该按钮显示伺服状态时，按下为蝶阀伺服，并显示断电，再次按下，蝶阀断电，并显示伺服，两控制器操作完全相同 ⑧ 电动蝶阀控制器的工作状态的控制按钮，该按钮显示手动状态时，按下为控制器手动，并显示自动，再次按下，控制器自动，并显示手动，两控制器操作完全相同 ⑨ 电动蝶阀控制器的手动输出，按下可弹出屏幕软件盘，进行输出设定，设定范围0-100， 两控制器设定方式一致 按动页下面的“滑阀泵”控制画面进入另一气氛控制画面，画面内容如下： ⑴ 显示1#滑阀泵的本次运行时间 单位分钟 ⑵ 显示1#滑阀泵的累计运行时间 单位小时 ⑶ 运行状态显示 正常/故障 ⑷ 累计故障次数 ⑸ 1#滑阀泵的工作状态的控制按钮，该按钮显示启动状态时，按下为1#滑阀泵启动，并显示停止，再次按下，1#滑阀泵停止，并显示启动，两控制器操作完全相同 按动本页下面的“主控画面”控制画面退出到主控制板，按“温度控制”按钮画面显示如下： 本画面共分6大功能区，分别是程序给定区，加热控制区，1#--3#温度调节区 程序给定区 本区可以选择所要运行的工艺曲线（通过画面软件盘设定），运行（键值2，通过画面软件盘设定）、复位（键值1，通过画面软件盘设定）、暂停（键值4，通过画面软件盘设定）、及当前给定值setpoint的显示，据设定不同的参数完成不同的控制功能， 加热控制区 本区可控制电源柜的加热电源的投入、切除，并显示三路电源的投切情况，及非常态的报警显示 1#温度调节区 本区可显示该加温区域的当前温度值，控制输出值，报警状态，能够完成手/自动切换，条形控件输出及输出值指示 2#温度调节区（与1#温度调节区功能相同） 3#温度调节区（与1#温度调节区功能相同） 按动本页下面的“加温工艺”控制画面切换到如下工作画面： 本画面为加热工艺曲线设定画面，包含曲线范例，本设定曲线为第1条曲线，下方表格中“段号”为该曲线中的段号，可设定1-15段。表格中“类型”为对应段号是哪个类型的段，也即是说，曲线中的一段，或是最终的一段，设定键值中间段设定值为0，终止段设定键值为1，表格中“温度”为对应段号所有到达的温度，表格中“时间”为对应段号温度所有需要的时间， 按动本页下面的“主控画面”控制画面退出到主控制板，按“历史曲线”按钮画面显示如下： 画面显示三区温度和一个绝对压力的历史记录曲线，通过屏幕下方的按键，可以滚动显示以往的数据记录，直观的再现过去的工作情况 按动本页下面的“主控画面”控制画面退出到主控制板，按“历史曲线”按钮画面显示如下： 画面显示生产过程中发生的事件，比如什么时间打开、关闭的阀门，什么时间打开、关闭的加热，用否手动工作等事件进行了详尽记录、显示，直观的再现过去的工作情况 本系统在使用过程中还可以进一步拓展其它便利功能，需要使用者在生产实践中进一步体会 编者 北京东胜亚电气技术有限公司 |
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