气相沉积炉计算机控制系统使用说明书

　前言：下图为本控制系统对应的实际工作组成部件

⑥

⑴ 为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。

⑵ 为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成，负责氩气和丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体。

⑶ 2台滑阀泵负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内

⑷ 过滤罐2台负责滑阀泵前级的粉尘排除，

⑸ 真空电动蝶阀2台在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速，使炉子工作在恒定的压力范围之内

⑥ 加热磁性调压器，3台独立工作，完成炉温的控制

内容：为了使上述元器件能够协调工作，工作人员更具可操作性，用于控制的计算机设置了多重画面，多个运行参数，使得工作过程更加直观，操作更加简便，各操作画面解释如下。

启动初始画面，

按“进入工作系统”键进入主控画面，开始工作。主控制板在系统工作过程中起到整体监控作用，系统运行时的主要参数都反映在本画面当中

⑴ 加热磁性调压器工作状态，显示“正常”、“故障”两种状态

⑵ 报警滚动条，显示上电状态及有报警标志

⑶ 实时曲线显示，反映当前三个温度和一个绝对压力随时间变化规律

⑷ 炉内绝对压力数值显示，反映内部工作时的气体压力

⑸ 充气管路上的电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小

⑥ 炉内三个温区的温度数值显示，反映内部工作时的三个不同部位的温度

⑺　 示意条显示气体流动方向

⑻　 抽空管路上的电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小

⑼　 示意条显示气体流动方向

⑽　 抽空管路上的1#真空电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小

⑾　 抽空管路上的2#真空电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大小

⑿　 抽空管路上的1#滑阀泵，显示该阀的工作状态包括正常运行、故障状态

⒀　 抽空管路上的2#滑阀泵，显示该阀的工作状态包括正常运行、故障状态

⒁ 功能按钮负责屏幕的切换，“气氛控制”切换至抽空管路的控制画面，“温度控制”切换至温度参数相关的控制画面，“加温工艺”切换至温度参数设定画面，“历史数据”切换至过去主意参数的记录信息画面，“事件记录”切换至过去运行过程中发生的事件的记录信息画面

“气氛控制”如下控制画面，

充气电动蝶阀调节器为反向调节器，抽空电动蝶阀调节器为正向调节器

⑴ 显示该电动蝶阀的工作状态包括伺服、断电状态

⑵ 炉内绝对压力数值显示，截取1000Pa以内的压力值，作为调节的控制反馈量

⑶ 实时控制设定值，通过设定该参数使炉内压力保持恒定，需要充气蝶阀和抽空蝶阀配合动作

⑷ 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示灯逐渐变亮，

⑸ 控制器手动指示，显示控制器当前的工作状态，

⑥ 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示进度条向右依次全部点亮

⑺　 电动蝶阀的工作状态的控制按钮，该按钮显示伺服状态时，按下为蝶阀伺服，并显示断电，再次按下，蝶阀断电，并显示伺服，两控制器操作完全相同

按动页下面的“真空蝶阀”控制画面进入下一气氛控制画面，画面内容如下：

⑴ 显示该电动蝶阀的工作状态包括伺服、断电状态

⑵ 炉内绝对压力数值显示，作为调节的控制反馈量

⑶ 实时控制设定值，通过设定该参数使炉内压力保持恒定，需要充气蝶阀和抽空蝶阀配合动作

⑷ 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示灯逐渐变亮，

⑸ 控制器手动指示，显示控制器当前的工作状态，

⑥ 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示进度条向右依次全部点亮

⑺　 电动蝶阀的工作状态的控制按钮，该按钮显示伺服状态时，按下为蝶阀伺服，并显示断电，再次按下，蝶阀断电，并显示伺服，两控制器操作完全相同

⑧　 电动蝶阀控制器的工作状态的控制按钮，该按钮显示手动状态时，按下为控制器手动，并显示自动，再次按下，控制器自动，并显示手动，两控制器操作完全相同

⑨ 电动蝶阀控制器的手动输出，按下可弹出屏幕软件盘，进行输出设定，设定范围0-100，

两控制器设定方式一致

按动页下面的“滑阀泵”控制画面进入另一气氛控制画面，画面内容如下：

⑴ 显示1#滑阀泵的本次运行时间 单位分钟

⑵ 显示1#滑阀泵的累计运行时间 单位小时

⑶ 运行状态显示 正常/故障

⑷ 累计故障次数

⑸ 1#滑阀泵的工作状态的控制按钮，该按钮显示启动状态时，按下为1#滑阀泵启动，并显示停止，再次按下，1#滑阀泵停止，并显示启动，两控制器操作完全相同

按动本页下面的“主控画面”控制画面退出到主控制板，按“温度控制”按钮画面显示如下：

本画面共分6大功能区，分别是程序给定区，加热控制区，1#--3#温度调节区

程序给定区

本区可以选择所要运行的工艺曲线（通过画面软件盘设定），运行（键值2，通过画面软件盘设定）、复位（键值1，通过画面软件盘设定）、暂停（键值4，通过画面软件盘设定）、及当前给定值setpoint的显示，据设定不同的参数完成不同的控制功能，

加热控制区

本区可控制电源柜的加热电源的投入、切除，并显示三路电源的投切情况，及非常态的报警显示

1#温度调节区

本区可显示该加温区域的当前温度值，控制输出值，报警状态，能够完成手/自动切换，条形控件输出及输出值指示

2#温度调节区（与1#温度调节区功能相同）

3#温度调节区（与1#温度调节区功能相同）

按动本页下面的“加温工艺”控制画面切换到如下工作画面：

本画面为加热工艺曲线设定画面，包含曲线范例，本设定曲线为第1条曲线，下方表格中“段号”为该曲线中的段号，可设定1-15段。表格中“类型”为对应段号是哪个类型的段，也即是说，曲线中的一段，或是最终的一段，设定键值中间段设定值为0，终止段设定键值为1，表格中“温度”为对应段号所有到达的温度，表格中“时间”为对应段号温度所有需要的时间，

按动本页下面的“主控画面”控制画面退出到主控制板，按“历史曲线”按钮画面显示如下：

画面显示三区温度和一个绝对压力的历史记录曲线，通过屏幕下方的按键，可以滚动显示以往的数据记录，直观的再现过去的工作情况

按动本页下面的“主控画面”控制画面退出到主控制板，按“历史曲线”按钮画面显示如下：

画面显示生产过程中发生的事件，比如什么时间打开、关闭的阀门，什么时间打开、关闭的加热，用否手动工作等事件进行了详尽记录、显示，直观的再现过去的工作情况

本系统在使用过程中还可以进一步拓展其它便利功能，需要使用者在生产实践中进一步体会

编者 北京东胜亚电气技术有限公司