具立方晶体结构的氮化硼薄膜。立方氮化硼(c-BN)是仅次于金刚石的超硬材料，化学稳定性极好，具有高电阻率，高热导率，掺入某些杂质可以成为半导体。立方氮化硼薄膜可以用低压气相形成金刚石薄膜相似的方法合成。氮化硼(BN)有三种异构体：h-BN，c-BN和w-BN，它们之间性能别很大，h-BN具有与石墨极相似的层状结构，质地很软。w-BN和c-BN中B、N原子都是彼此形成四配位结构，在硬度方面两者差别不大，都是硬质膜，可以用于切削刀具。