离子束被固体表面散射后，散射离子的能量分布和角度分布。用于固体表面研究的离子散射谱用能量低于几千电子伏特的惰性气体离子射向表面，入射离子被表面原子的散射可近似用两个质点的弹性碰撞来处理。散射离子的能量分布和角度分布与表面原子的质量有确定的关系。通过测量沿一定方向散射的离子的能量分布，可提供表面原子质量(即化学成分)和数目的信息。离子散射谱的信息只来自最表层，灵敏度极高，约108∽109原子/cm2。可以做到近于无破坏的表表面成分分析。(吴思诚)