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词条 基板校正装置
释义

§ 权利要求

一种基板校正装置,包括有: 一承载台,包括一底面和一周边,所述底面与所述周边连接;和 多个滚动件,设在所述周边和所述底面上。 

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更新时间:2024/11/11 9:01:07