扩散结深定义为从硅中表面到扩散层浓度等于衬底浓度处之间的距离,一般以微米为单位计量

结深的测量，通常在100mlHF（49%）加几滴HNO3d的混合液中对磨斜角（1°～5°）的样品做化学染色，有时只要HF就够了。如果样品置于强光下照一两分钟，P型区要比n型区染色重。利用Tolansky干涉条纹技术，可精确测量0.5～100μm的结深。

生产中的两种扩散法：无限（恒定）表面源杂质扩散、有限表面源杂质扩散，分别形成erfc（余误差）分布和Gauss（高斯）分布，其结深近似有相同的表达式：

影响因素有：扩散时间、扩散系数、结面浓度、衬底浓度。