低温等离子体发生单元，是继玻璃、陶瓷等硬质介电材料发生单元百年技术发展后的，一种全新的介电材料技术及发生单元介电技术。由于基础材料与核心技术方面的突破，在提高发生单元的可靠性、高效能，实现单元器件及大型机组设备的发展进程中，获得新路径。　介电材料，具有优良的电气性能、机械性能、耐温性、耐辐射性、电化学稳定性以及良好的阻燃性，在200℃的破坏性试验中连续工作。与传统硬质（玻璃、陶瓷等）介电材料不同，介电材料为0.18-0.20mm超薄的软质薄膜，收缩率130℃时≤1.0%，电损0.01~0.15，介质效率98%，具有较宽的动态高频特性，适合任意放电面积设计。

发生单元装置，由精度极高的冷却合金导体和膜精装而成。再经二次承压布气及双极冷却密封集成，加载高频高压电源进行电离工作。

发生单元参数

导体　高精度布气冷却合金导体

工艺间隙　0.18~0.20mm

电离电压加载值　1600~3000VP-P

功率密度加载值　30kw/m2

工作频率　6~21kHZ

工作气压　0.10~0.30Mpa

冷却方式　内极水冷外极风冷

工作温升　冷却水25℃时，介质极< 3℃，高压极< 10℃

比能　8.25kw·h/ kgO3

产率　580g/m2

转化率　11~16%

浓度　100-350mg/l