概述

参数

用途

概述

气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜（面）和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦（He）氖（Ne）激光作为第一代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。

参数

常见的激光混合气的组成和主要用途：

类别　混合气组成/（10-2）　用途

　H2　Ne　Ar　N2　CO2　Kr　F　Xe　CO　HCl　平衡气　

氦氖激光
混合气　　2-8.3　　　　　　　　　He　用于工业生产，科学研究和国防建设等领域

CO2激光
混合气　0.4　　　　13.5
13.0
8.0
6.0
16.0
8-12　4.5
7.0
8.0
8.0
16.0
6-8　　　2.0
4.0
2.0
4.0　　　主要用于激光加工，如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等

氪氟激光
混合气　　　　　　5.0　10.0
1-0.2　　　　　用于保护膜导光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光

密封束
激光气　　　　18.5　　　　3　2.5　　　作研究用的密封束激光气

准分子
激光气　　25.8　9.8　0.004　　　1
5
0.2　　　
5.0　Ar
He
He
Ar　准分子激光器用于医疗上的外科手术

用途

H2NeArN2CO2KrFXeCOHCL平衡气 氦-氖激光混合气

1. 2.0-8.3 He用于工业生产、科学研究和国防建设等领域 二氧化碳激光混合气

2. 0.4 13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-124.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 2.0 4.0 4 He He He He He He主要用于激光加工、如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上用的激光外科等 氪-氟激光混合气

3. 510 1-1.2 He He用于保护膜暴光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光 密封束激光混合气 。

4. 18.5 32.5 H2作研究用的密封激光器 准分子激光混合气

5. 25.89.80.004 1 5 0.2 5Ar He He Ar准分子激光器用于医疗上的外科手术