基本信息

姓名：郭立萍

职称：山东理工大学理学院讲师

学习经历

1995-1999：曲阜师范大学，理学学士

1999-2002：烟台大学，理学硕士

2002-2006：中科院上海光学精密机械研究所，工学博士

承担课程

工作至今，曾讲授过的课程有：《量子力学》，《力学》，《光电技术》，《大学物理》等

研究方向

主要从事光学光刻技术方面的研究。

研究项目

获奖

学术交流

论文、专著

[1] Liping Guo, Xiangzhao Wang, Huijie Huang. Analysis of illumination pupil filling ellipticity for CD control in photolithography. Chinese Optics Letters, 2006, vol 4(4).

[2] Liping Guo, Huijie. Huang, Xiangzhao Wang. Exposure dose control for step-and-scan lithography. Proc. SPIE, 5645, 217-223, 2004.

[3] 郭立萍，王向朝，黄惠杰. 照明光瞳非对称性对光刻成像影响. 光学学报,2006 vol 26(6).

[4] 郭立萍, 黄惠杰, 王向朝. 积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用. 光子学报, 2006 vol 35(7).

[5] 郭立萍, 黄惠杰, 王向朝. 步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究. 激光杂志, 2004 (12).

[6] 郭立萍, 黄惠杰, 王向朝. 光学光刻中的离轴照明技术. 激光杂志, 2005 (1).

[7] 郭立萍, 王向朝. 步进扫描投影光刻机中的杂散光原位检测方法. 发明专利No.200510024229. X.