词条 | 硅漏 |
释义 | 漏硅事故是直拉单晶硅行业的重大生产安全事故,轻则损伤热场及设备,重则引起爆炸造成重大损失,危及人身安全。 在生产过程中,如发现液面突然下降、硅棒掉落、电极报警等现象,应立即反应,确认漏硅后及时处理: 1)关闭真空泵球阀及真空泵,防止漏的硅料被吸走; 2)手动复位面板,所有开关归零,关闭加热开关; 3)待结晶后提高埚位(顶起导流桶一般为100mm以上),可以防止剩余硅料结晶后胀裂加热器; 4)将氩气进气阀充至常压后关闭; 5)准备灭火器、水、布等。对波纹管、排气管道进行降温,可戴隔热手套对手部进行保护,发生火 灾时用灭火器及时处理; 6)时刻关注炉内情况及炉体温度,联系各部门做好准备,必要是进行撤离。 作为一名一线操作人员,在日常的工作中必须提及重视,认真对待每一个细节的操作。 1)装炉前确认防爆阀正常; 2)装料前检查石英埚到位,无气泡、白点、质地均匀等; 3)装料时严格按照规程操作,小心谨慎,避免磕碰、挂边、搭桥、扒埚等现象; 4)塌料时,注意炉内情况,有异常及时报告、处理; 5)化料完成后,及时进行下一步的操作,避免石英埚在高温区时间过长; 6)引晶时细颈不宜过细,控制在4-6毫米之间; 7)在等径过程中,如发现晶棒晃动且幅度较大,应及时做提断处理; 8)在晶棒回熔过程中,功率不宜过高且侵入液面长度不宜过长,防止晶棒底部扎漏石英埚; 9)晶棒提段过程应缓慢,防止细颈温差过大崩裂,造成掉棒。 |
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