由于气体压力与气体密度成正比，因而气压将直接影响电子的自由程，从而影响电离和击穿。帕邢定律表明,在相同的间隙距离下,提高气体压力可提高其击穿电压。然而高气压下气体介质击穿的机理与汤森理论有很大差异。高气压电击穿有以下特点：①超过一定气压Pc之后（各种气体的Pc值不同,例如SF6的Pc约在6kg/cm2 以上），击穿电压有较大的分散性。经过多次放电之后(一般称“锻炼”)，击穿电压值渐趋稳定。但即使在锻炼之后，偶尔也会出现很低的击穿电压。②阴极材料对击穿电压有影响。阴极材料的结构，例如有无杂质，单晶或多晶，是否有位错等，也会影响击穿电压的大小。③电极表面状态的影响。电极表面加工及清洁程度对击穿电压有作用。如电极经抛光、除油等处理后，击穿电压比处理前高。④电极面积增大，击穿电压将有所降低。⑤气体中若含有水气及悬浮尖埃等杂质，则会降低击穿电压。因此所充气体应经过净化处理。