氟化氙分三种：二氟化氙，四氟化氙和六氟化氙。他们均为无色晶体，其中二氟化氙熔点为129℃，四氟化氙为113℃，六氟化氙为89℃。XeF2在碱溶液中易被还原成Xe。XeF4则在水中岐化为XeO3+Xe。XeF6则水解成XeO3。氟化氙能被氢气还原为Xe。XeF2能将Cl-变为Cl2，BrO3-变为BrO4-。都可以用氙和氟直接化合生成，也可做氟化剂。

易升华，前二者气态无色，后者黄色。化学活泼性、氧化性和氟化性依次递增。如XeF2 和XeF4 不和SiO2 反应，而XeF6 最终反应生成XeO3 。XeF2 可用作有机物的氟化剂，选择性较好，产率较高。XeF4 及XeF6 和某些有机物接触会引起燃烧或爆炸。改性的XeF6 为有前途的氟化剂。XeF2 可用作氧化铀的氟化剂，以分离235 U。用生成氟化氙除去核反应堆裂变产物放射性氙的小型试验已获成功。用135 XeF4 作核反应堆的减速剂正在试验。控制不同的温度，压力等条件，可由氙和氟直接反应制得上述三种氟化氙。还可通过放电、辐射、光化学反应等制备。