利用AFM微细加工技术首次制备了二氧化锡纳米传感器件。该传感器在常温下对氢气非常敏感且具有很好的选择性，可以作为检测环境中氢气浓度的传感器。纳米气体传感器件由于尺寸小，反应区域仅仅在数千个分子的区域，排除了复杂的表面反应，可以大大提高稳定性和选择性，而且功耗低，达到常温工作的目的。加工过程中不需要热处理工艺，使半导体氧化物材料和硅材料的结合非常简单，容易做到集成化。