二氧化硅抛光液是以高纯度硅粉为原料，经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。如：硅片、化合物晶

体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。可生产不同粒度（10~150 nm）的产品满

足用户需求。根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。

产品特点

n 高抛光速率，利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的（可以生产150 nm）

n 粒度可控，根据不同需要，可生产不同粒度的产品（10-150 nm）

n 高纯度（Cu含量小于50 ppb），有效减小对电子类产品的沾污

高平坦度加工，本品抛光利用SiO2的胶体粒子，不会对加工件造成物理损伤，达到高平坦化加工

产品规格

碱性型号（pH:9.8±0.5）：SOQ-2A、SOQ-4A、SOQ-6A、SOQ-8A、SOQ-10A、SOQ-12D

酸性型号（pH:2.8±0.5）：ASOQ-2A、ASOQ-4A、ASOQ-6A、ASOQ-8A、ASOQ-10A、ASOQ-12D

粒径(nm)： 10~30 30~50 50~70 70~90 90~110 110~130

外观： 乳白色或半透明液体

比重 1.15±0.05

组成 SiO2：15~30%

Na2O：≤0.3%

重金属杂质 ：≤50 ppb

应用领域

1、 光通讯领域，配合公司专门为光纤连接器开发的抛光产品，能达到超精细抛光效果，抛光后连接器端面没有划伤和缺陷，3D指标和反射衰减指标达到国际标准。

2、 硬盘基片的抛光，SiO2磨料呈球形，具有粒度均匀、分散性好、平坦化效率高等优点。

3、 硅晶圆、蓝宝石等半导体及衬底材料的粗抛和精抛，具有抛光速率高，抛光后易清洗，表面粗糙度低，能够得到总厚偏差（TTV）极小的质量表面。

4、其他领域的应用，如不锈钢、光学玻璃等领域，抛光后能达到良好的抛光效果