上海交通大学微纳科学技术研究院研究员

1963年10月生，1980年入复旦大学化学系，1987年硕士毕业后入，任“微米/纳米加工技术”国家级重点实验室副主任。多年来一直从事微电子机械系统（MEMS）传感器与执行器的设计、仿真与制造技术研究，并结合纳米材料的特性研究，开展微纳系统（NEMS/MEMS）器件的集成与应用开发研究。作为课题组长或主要人员先后完成了多项国家或省部级重大科研项目，如“863”、自然科学基金、上海市科委专项基金等，包括MEMS微机械加速度开关、电磁微机械继电器、基于多元UV-LIGA技术的RF MEMS、生物微纳系统、MEMS集成光纤连接器、碳纳米管场发射（FET）集成器件、电磁微型马达、电热微驱动执行器等。近年来在国内外重要学术期刊或会议上发表论文百余篇，被SCI、EI收录70多篇，他引40余次，申请发明专利60多项，近30项已获授权，其中技术成果转让3项。2004年获 得上海市育才奖，2007年获上海市技术发明一等奖，并于2000和2008年先后两次获得国家科技进步二等奖。

研究方向

· 微电子机械系统设计、仿真与制造（Design, Simulation and Fabrication of MEMS）：微机械加速度传感器件、电热微驱动器

· 微纳系统器件集成与开发（Integration and Application of NEMS）：微纳场发射器件、微流体芯片

· 射频MEMS系统（RF MEMS）：RF开关、移相器、微波/毫米波天线