电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。
主要用于解决下述各种测量问题：
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
量程：20～1250μm；
分辨率：<0.1nm；零磁滞；
线性最高0.02%；
频带可调：50～5000Hz；
灵敏度可调：5～125μm/V；
真空兼容选项；
非接触式测量方法；