| 词条 | 电容式位移传感器 |
| 释义 | 电容位移传感器简介电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。 电容位移传感器应用范围主要用于解决下述各种测量问题： 压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。 主要特点（真尚有ZNXsensor）量程：20～1250μm； 分辨率：<0.1nm；零磁滞； 线性最高0.02%； 频带可调：50～5000Hz； 灵敏度可调：5～125μm/V； 真空兼容选项； 非接触式测量方法； |
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