仪器的可检测下限（Lower Detectable LimitofInstrument）

气体工业名词术语，可给出信噪比至少为3dB的仪器响应的物质最低浓度。半导体工业的发展对高纯气体，电子特种气体的纯度要求愈来愈高，对气体中的杂质检测限要求达到1029～10212数量级。目前供此目的用的最好仪器是大气压离子质谱仪。