人物简介

在研课题

获奖情况

申请的发明专利

科研项目

人物简介

性 别 男

出生年月 197105

学位/学历 博士（后）

职 称 教授

一级学科 控制科学与工程 二级学院 机电工程学院 二级学科 检测技术与自动化装置

研究方向 高速超精机电系统、动力学与控制，减振技术等

Fellow,于2002年8月开始加盟ASM亚太研究中心。主要从事高精密机器与复杂设备系统动力学、结构工程及振动控制等方面的研究。在实际工作中，已陆续参加和主持了国内外(科技部、中国航天科技集团,中科院重大知识创新、新加坡政府、世界第一大半导体封装设备供应商ASM亚太，上海市科委等) 多项大型高新项目的研究，主要参加和承担过国家十五与863重大专项，承担2项有关的重大专项的子项目。近些年，主要从事高速超精半导体装备，如后道微电子封装设备(如引线键合机等)、前道制造设备(100nm步进扫描光刻机)的研究工作。多次受邀参加国内外举办的高水平的学术会议等。于2006年8月获上海浦江人才计划资助的项目“双轴驱动高速高精工件台研制”(A类)，在2008年8月获评“出色地”完成；2007年12月曾荣获教育部自然科学奖一等奖（第二完成人）等多个项目奖。

2009年2月底加入中国计量学院。

在研课题

计量学院引进人才项目（主持人）；

浙江杰出青年基金项目（R1100015/主持人）；

国家自然科学基金项目（51075377/主持人）；

国家重点实验室开放基金项目（GZKF-201017/主持人）；

国家重点实验室开放基金项目（DMETKF2010006/主持人）；

某大型叉车的动力学分析与减振设计

获奖情况

2000年1月, 在国家重大知识创新项目研制中, 被评为所”先进科技工作者”;

2006 年1月 在国家863重大专项研究中，被研究中心评为“先进员工”。

2006年8月 获得上海“浦江人才计划”(A类资助), 于2008年8月获评“出色地”完成了任务。

2007年12月 获得 教育部“自然科学奖”（一等奖）一项。

申请的发明专利

(包括第二作者及以后)

发明专利 (34)条

【01】200710173581.9 一种剪式提升装置

【02】200710172427.X 一种工件台平衡质量定位系统

【03】200710172429.9 工件台平衡质量定位系统

【04】200710173146.6 单孔形标记对准信号处理方法

【05】200710173575.3 光刻设备的探测装置与探测方法

【06】200810033058.0 一种抓手角度可调的夹取装置

【07】200710172938.1 基于自适应纠正处理提高对准信号处理精度的方法(已授权)

【08】200710045581.0 一种精密提升装置

【09】200510026019.4 一种精密减振和定位装置

【10】200510029686.8 一种随机响应信号测量与分析的方法

【11】200510112113.1 一种精密定位和调整工装(已授权)

【12】200610025895.X 一种复合减振式光刻装置(已授权)

【13】200610147842.5 悬挂式支撑成像系统及光刻装置

【14】200710040650.9 一种传输控制装置及其控制方法(已授权)

【15】200710040997.3 一种多链接传输控制方法

【16】200710041769.8 一种旋转交换的双台系统(已授权)

【17】200710042417.4 光刻机工件台平衡定位系统(已授权)

【18】200710043324.3 垂向微调及重力补偿装置与光刻机(已授权)

【19】200710041226.6 光刻机工件台平衡定位系统(已授权)

【20】200710044559.4 光刻装置的对准方法及系统(已授权)

【21】200710044848.4 脉冲信号的逼近方法 (已授权)

【22】200710046060.7 气缸活塞减振装置(已授权)

【23】200810036911.4 二维编码归一化对准标记组合及其对准方法和对准系统

【24】200810036910.X 归一化对准标记组合及其对准方法和对准系统

【25】200810038391.0 光刻设备的探测装置、探测方法及制造方法(已授权)

【26】200810037649.5 六自由度微动台(已授权)

【27】200810200646.9 脉冲波强度采样同步的校准方法与系统

【28】200810200919.X 主动减振系统及其预见控制方法(已授权)

【29】200810200647.3 信道增益数字均衡自适应校准系统与方法

【30】200810201311.9 主动减振隔振装置及主动减振隔振系统(已授权)

【31】200810200917.0 一种同轴度检测装置

【32】200910045207.X 一种减振支撑装置

【33】200780050936.3 可逆极性解码器电路及相关方法

【34】201010121928.7 一种活塞往复式压缩机“无余隙”机型的分体型吸气阀体及其安装方法

实用新型专利 (7)条

【35】200720074739.2 活塞气缸减振机构

【36】200720076163.3 垂向微调及重力补偿机构

【37】200620041223.3 一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置

【38】200620049444.5 一种柔性支撑机构

【39】200720067425.X 一种大阻尼精密柔性支撑机构

【40】200720076162.9 一种工件台平衡定位装置

【41】200720076166.7 一种精密提升装置

带领课题组申请发明专利34项，其中15项发明专利业已授权。

科研项目

[1]航天工程项目：长二捆运载火箭上面级约束阻尼结构系统动力学分析与优化

[2]航天工程项目：某仪器舱模态分析、测试及一体化振动控制方法研究

[3]新加坡科技部项目: Dynamics Properties Investigation and Advanced Servo Control for Hard Disk Drives (HDDs).

[4]SONY Singapore Research Lab: Micro-Sensing & Bandwidth Extension of Hard Disk Drives.

[5]Seagate Singapore: Research & Development of Micro-Modal Testing Technologies.

[6]主要参与国家十五与863重大专项，负责整机动力学仿真优化与试验及精密主动减振系统

[7]主持/参与完成两个国家863重大专项子项目等.