1949年10月设置，专署驻忻县。初辖九县：忻县、代县、宁武、静乐、五台、定襄、繁峙、崞县、阳曲。1952年撤销兴县专区后，兴县、偏关、神池、五寨、河曲、保德，岚县、岢岚等县并入该专区。1958年11月与雁北专区合并为晋北专区，1961年又恢复忻县专区。1970年改名忻县地区，1978年改名忻县行政公署。