题名: 现代材料工艺力学的发展方向

作者: 段祝平

主题关键词: 科普

原文

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材料的微尺度从亚毫米到微米工艺，如微电子器件和微电子机械加工工艺依赖于微尺度力学理论的发展。它不但涉及到物质在细微观 统称微尺度或小体积，层次物质运动规律的研究，而且涉及到在这一尺度范围内机械运动与其他物质运动形态，包括热、光、电等的相互联系与转化规律的研究。这里，采用什么样的数学力学模型，离散的还是连续体的，局部的还是非局部的，经典的还是量子的，确定性的还是统计的模型去描述微尺度工艺过程中物质运动的规律，这是迫切需要解决的重大力学理论课题。目前已经发展的原子、分子动力学方法、微态、微极与非局部场论方法、非平衡统计和非线性动力学方法、热、力、电、磁相互耦合的细观力学方法等都还不成熟，需要深化与发展以便在微尺度加工工艺中获得真正应用。