一种制造铌或钽的含硅合金的方法，包括： A)形成包含铌或钽粉末和硅粉末的混合物，并挤压该混合物形成压制混合物； B)将该压制混合物附着到包含铌或钽的电极上； C)在真空电弧再熔条件下熔融该电极和压制混合物，使得该混合物与该熔融的电极混合； D)冷却该熔融的电极形成合金锭；和 E)对该合金锭施加热-机械加工步骤形成锻件。该方法提供了粒径比ASTM 5细的完全再结晶的铌或钽锻件，其可用于制造深拉杯和溅射靶。