实验室介绍

实验室学术委员会成员介绍

实验室研究成果(薄膜与等离子体技术方向 薄膜与等离子体技术方向 微光电器件制造技术及应用方向)

实验室介绍

西安工业大学光学工程学科具有50多年的历史，是学校最具特色的学科之一。依托于西安工业大学的“陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室”成立于1999年，在上级和学校的支持下，实验室整体实力不断增强，成为西北地区高校光学工程学科领域条件最好的实验室之一。以省级重点实验室为基础，又拓展了“陕西省薄膜技术与微光电器件军民两用技术工程中心”和国家光电子成果转化及产业化基地“光电薄膜与器件研发服务中心”两个省级重点科研基地。

谢友柏院士任实验室学术委员会主任，刘卫国教授任实验室主任。实验室主要研究方向是薄膜与等离子体技术、光学制造与检测技术、微光电器件制造技术及应用。实验室占地面积约2000平方米，含光学工艺、光学检测、真空镀膜、微光电器件制造与检测实验室，拥有光学零件加工与检测、光学薄膜制造与检测、微光电器件制造与检测的主要技术装备，是光学工程专业的教学、科研实践基地。实验室在基础教学、科研成果等方面取得了一大批有影响的成果，光学工艺实验室在产学研方面做出了突出贡献，曾被评为“全国高校先进实验室”。

近年来，实验室加强与企事业单位的联合，先后与西安、成都、南阳以及德国、英国、白俄罗斯等国知名薄膜制造与检测相关单位签订了友好合作协议，扩大对外交流。为了吸引更多的同行来实验室工作，实验室在利用陕西省教育厅提供的访问学者专项经费的同时，从2004年开始设立重点实验室开放基金，以便更加广泛地接纳国内外访问学者。

实验室学术委员会成员介绍

主 任：谢友柏（西安交通大学，教授，中国工程院院士）

副主任： 舒朝濂（西安工业大学，教授，陕西省光学学会副理事长）

委 员：

刘卫国（西安工业大学副校长，教授，中国光学学会薄膜专业委员会委员）

吴振森（西安电子科技大学，教授，博导）

李忠岳（航天总公司504研究所室主任，高工）

冯卓祥（西安205研究所，研究员）

严 文（西安工业大学，教授）

赵葆常（中科院西安光学精密机械研究所，研究员，博导）

谢友柏，男，汉族，教授，博导，中国工程院院士。省重点实验室学术委员会主任。

1955年毕业于交通大学(上海)内燃机制造专业并留校执教。开设过的课程有机械原理、机械零件、振动理论、流体动力润滑理论、轴承技术、弹性流体动力润滑理论、摩擦学等。后随校西迁，并在西安工作至今。现任西安交通大学教授，博士研究生导师，清华大学摩擦学国家重点实验室学术委员会主任，国务院学位委员会学科评议组成员，国家教委面向21世纪教改顾问组成员。任机械工程学报、中国机械工程、摩擦学学报、工程设计、英Proc IMechE (Part J) Journal of Engineering Tribology等的编委，历任中国机械工程学会摩擦学学会第一、二、三届副理事长、第四理事长、第五届常委。1994年5月被遴选为中国工程院首批院士。

刘卫国，男，汉族，教授，博士生导师。省重点实验室主任。现任西安工业大学副校长，中国真空学会薄膜专业委员会委员，陕西省真空学会副理事长，陕西省真空学会薄膜专业委员会主任，中国光学学会薄膜专业委员会委员。

1985年毕业于西安电子科技大学光电子技术专业，1988年获西安电子科技大学工学硕士学位，1995年获西安交通大学工学博士学位。长期从事光电子技术、电子材料与器件领域的教学和研究工作，曾于2001年3月～2003年3月在新加坡南洋理工大学从事合作研究。先后在国内外学术刊物和国际会议上发表学术论文70余篇，近年来有专著《集成非制冷热成像探测阵列》和教材《光学薄膜技术》公开出版。1989年获陕西省科技进步一等奖，1992年获兵器工业总公司科技进步一等奖，1993年获国家科技进步二等奖，1996年入选国家人事部等七部委的“百千万人才工程”库，同年被破格晋升为教授，1997年被陕西省列为有突出贡献的中青年专家，1997年入选陕西省“三五”人才工程第二层次人选，被陕西省委、省政府评为2003年度有突出贡献中青年专家。

舒朝濂，男，汉族，教授，硕士生导师。第一届省重点实验室主任。

1966年毕业于清华大学精密仪器及机械制造系，1981年获清华大学工学硕士学位。舒朝濂教授长期从事光学仪器、光学工艺与测试、光学技术与光电仪器等专业的教学与科研工作，教授《傅立叶光学》、《物理光学》、《应用光学》等课程，承担过激光测距、激光准直、变形系统、干涉计量和薄膜技术等项目的研究，发表学术论文40余篇，兼任陕西省光学学会副理事长、陕西省兵工学会副理事长等。1984年被评为陕西省教书育人先进教师，1993年获国务院政府特殊津贴，1999年被中国教育工会全国委员会评为“全心全意依靠教职工办学优秀党政领导干部”，2000年获陕西省优秀教学成果奖。

实验室研究成果

薄膜与等离子体技术方向

*可见、红外高效高强宽带减反膜；

*高反膜器件制造技术；

*高性能窄带滤波；

*分光分色器件制造技术；

*抗激光薄膜的制造技术；

*宽束冷阴极离子源 、脉冲真空电弧离子源系列化；

*类金刚石薄膜的制造与应用技术；

*超硬薄膜制造技术；

*高精度薄膜厚度实时控制技术；

*(非)平衡磁控溅射技术与设备；

*脉冲真空等离子体镀膜技术与设备；

*离子束溅射技术与设备。

薄膜与等离子体技术方向

*球面、非球面光学表面数控铣磨技术；

*超光滑光学表面磁流体抛光技术；

*超光滑表面等离子体抛光技术；

*球面、非球面光学表面柔性抛光技术与设备；

*非球面与复杂表面光学元件测试技术与设备；

*薄膜参数的精密测试技术与设备。

微光电器件制造技术及应用方向

*常温热成像材料与器件制造、检测、应用技术；

*低损耗薄膜散射测试仪；

*多功能传感器集成制造技术；

*纳米材料与器件；

*低维聚合物制备与改性；

*常温热成像探测器件。