同位素质谱仪，是质谱仪中较常用的一种，是一种用于分离和检测不同同位素的仪器。同位素质谱仪测试速度快，结果精确，样品用量少（微克量级），能精确测定元素的同位素比值。同位素质谱仪广泛用于核科学，地质年代测定，同位素稀释质谱分析，同位素示踪分析之中。