词条 | 碎硅片 |
释义 | 定义碎硅片属于硅原料五大类(碎硅片、单晶硅片、头尾料、埚底料和特殊物料)的其中之一。碎硅片(Broken wafer)是操作人员在单晶硅片的切片、脱胶、清洗、物流的系列生产过程中因破损而产生的碎片。 分类除去碎硅片中杂质的部分,按半导体阻态,碎硅片可分为高阻片和重惨片;其中高阻片按照生产工艺可分为:原片高阻、抛光片高阻和工艺片高阻。 特征原片高阻 片面干净且两面均为灰色的碎硅片
抛光片高阻 片面干净且两面均可作镜子的碎硅片
工艺片高阻 高阻片的边缘重惨
处理方法目前碎硅片的处理方法是:对符合回收条件的电子级废硅碎料或块料作为原料重新回炉后使用。回炉前必须经过一系列的处理,包括反复的人工分拣、逐片检测,分为以下两种类型的处理方法: 第一,对原生型碎硅片可通过清洗、烘干进行处理; 第二,对成品型碎硅片根据其加工程度,通过一系列化学方法恢复其原生型硅料状态,再回炉成为太阳能级硅片的原料。 |
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