碎硅片属于硅原料五大类(碎硅片、单晶硅片、头尾料、埚底料和特殊物料)的其中之一。碎硅片(Broken wafer)是操作人员在单晶硅片的切片、脱胶、清洗、物流的系列生产过程中因破损而产生的碎片。
除去碎硅片中杂质的部分,按半导体阻态,碎硅片可分为高阻片和重惨片;其中高阻片按照生产工艺可分为:原片高阻、抛光片高阻和工艺片高阻。
原片高阻 片面干净且两面均为灰色的碎硅片
片面干净且两面均为光泽的碎硅片
片面干净且一面灰色另一面光泽的碎硅片
抛光片高阻 片面干净且两面均可作镜子的碎硅片
片面干净且一面可作镜子另一面光泽或灰色的碎硅片
工艺片高阻 高阻片的边缘重惨
抛光片片面重惨
碎硅片带条纹
碎硅片带格子
碎硅片带颜色
目前碎硅片的处理方法是:对符合回收条件的电子级废硅碎料或块料作为原料重新回炉后使用。回炉前必须经过一系列的处理,包括反复的人工分拣、逐片检测,分为以下两种类型的处理方法:
第一,对原生型碎硅片可通过清洗、烘干进行处理;
第二,对成品型碎硅片根据其加工程度,通过一系列化学方法恢复其原生型硅料状态,再回炉成为太阳能级硅片的原料。