简称TMS，它是一种化学分析试剂，分子式：(CH3)4Si.性质：无色易挥发液体。熔点-99℃。沸点26～28℃。闪点<0℃。折射率1.3580。密度0.648g/cm3。化学稳定，不被浓硫酸或强碱分解。在紫外线照射下，可氯化成氯甲基三甲基硅烷。四甲基硅烷具有很高的热稳定性，660～720℃下才开始分解。可由四氯硅烷或正硅酸乙酯与甲基碘化镁反应来制取。也可由氯甲烷和硅粉，在铜催化剂存在下反应而制取。在高温下反应然后仔细分馏制得。由于硅的电负性较低，对四个甲基上的氢原子影响较小，所以在核磁共振谱中能给出较强的信号和一个锐利的吸收峰，而其他一般有机化合物中的质子吸收峰都出现在它的左面。因此，在核磁共振谱中通常把TMS作为化学位移的内标，并把它的化学位移定为零。通常置于密封玻璃管内并贮存于冰箱中。