扫描式数据测量方法采用扫描式测量探头，通过多点信息来描述复杂曲面轮廓。扫描式探头实质上相当于X、Y、Z三个方向皆为差动电感测微仪，X、Y、Z三个方向的运动是靠三个方向的平行片簧支撑，是无间隙转动，测头的偏移量由线性电感器测出。扫描式探头主要用来对复杂的曲线曲面的测量。