Webon快速平面度检测

一．首先采用平面检测仪器

对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初步精度

如研磨后的器件达到5um以内可以用平晶进行检测

未达到继续研磨器件可以不用下盘。

FG-5检测120以内

FG-7检测170以内

FG-9检测220以内

FG-30检测650以内

二达到5um以内用平面平晶体检测

首先看是否有条纹。是否合格

以300的密封器件为例的。

检测的整个面必须首先看到同心圆才合格

2um的面型精度整个面的同心圆条纹小于3个

1个同心圆条纹精度大于在0.8um

3个就是2.4um左右

也就是说必须是小于3个的同心圆条纹才合格。

N<3

三。以下是检测中会出现的问题。

条纹非常密集。

两种情况。1. 加工出得元件精度远远不够。

2. 平晶和元件之间有异物灰尘没处理干净

条纹非常乱

情况是加工的研磨盘凹凸不平不在一个平面上。元件研磨后整个面就是乱的、

同心圆条纹圈数太多。

情况是元件精度还不达标继续研磨直到圆圈数少于3个。

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