为了通过减小电介质厚度至1μm或更薄从而减少层压陶瓷电容器的体积，同时为了增加电介质和电极的数目以增加电容量，需要减少用于内电极的金属粉末中超过1μm的粗颗粒量。特别地，一种镍基超细粉末，其中一次颗粒的平均颗粒直径是0.05-0.3μm，而颗粒直径为1μm或更大的一次颗粒的数目是颗粒总数的50ppm或更少，并且颗粒直径是平均颗粒直径的0.6倍或更小的一次颗粒的数目是颗粒总数的10％或更少。该镍基超细粉末能通过如气相氢还原法由氯化镍蒸汽制得。