在合金的高温氧化过程中，除了形成表面氧化物以外，氧可能溶解并扩散进入合金内部，与合金中较活泼的组元发生反应而形成颗粒状氧化物沉积在合金内部的过程。相应的氧化物称内氧化物。只有当合金的组成和浓度满足一定条件时才会发生内氧化，纯金属则不会发生。