个人概况

研究方向

项目经历

获得的荣誉

发表论文

发明专利

个人概况

李运锋，男，博士，高级工程师。1976年出生，汉族，籍贯河南，2006年7月毕业于上海交通大学自动化系，获控制理论与控制工程专业博士学位。同年进入上海微电子装备有限公司，从事高端光刻机对准技术的研发和项目管理工作，历任系统工程师、技术主管、部门副经理。在国内外期刊发表公开发表论文16篇，其中SCI收录2篇（次），EI收录6篇（次），申请发明专利50余项。

研究方向

李运锋博士一直从事超高精度（纳米级）测量技术的研发工作，目前主要的研究方向基于衍射光栅的硅片对准测量技术、机器视觉技术，以及后端的信号处理技术和图像处理技术。

同时，在工程项目中，主要从事系统设计和项目管理工作，组织和领导相关学科的设计工程师（光学设计工程师、机械工程师、软硬件设计工程师等），从事项目的开发和工程实现工作。

项目经历

2000-2002年，机器人变结构控制技术的研究 ；

2002-2006年，生物发酵过程先进控制技术的研究；

2006-目前，从事高端光刻机对准技术的研发工作（项目属于‘863’专项和“国家重大科技专项”）

获得的荣誉

发明专利“光刻技术中对准信号的处理方法”(ZL200910049046.1)获得国家知识产权局“2010年度百件优秀中国专利项目”；

2008、2009年度，两次获得上海微电子装备有限公司“优秀员工“”荣誉称号；

2008、2009年度，两次获得上海微电子装备有限公司“专利十佳”荣誉称号；

2009年度，获得上海微电子装备有限公司“专利成果奖”；

2010年度，获得上海微电子装备有限公司第一届技术论坛论文鼓励奖；

2010年度，被授予上海微电子装备有限公司“专利成就铜奖”

发表论文

1. 李运锋,韦学志,宋海军,徐荣伟,基于粗对准与精对准分开探测的对准系统,光学与光电子技术,2009,7(6):61-64

2. 李运锋,王海江,韦学志,宋海军,用于光刻装置的多光栅标记对准系统,微纳电子技术,2009, 46(8):494-497

3. Yunfeng Li, Jingqi Yuan, Prediction of key state variables usingsupport vector machines in bioprocesses, Chemical Engineering & Technology,2006, 29(3): 313-319.(SCI: 022KZ, EI: 06129764099)

4. Yunfeng Li, Zhifeng Wang, Jingqi Yuan, On-line fault detection usingdynamic SVM-based MPLS for batch processes, Chinese Journal of ChemicalEngineering, 2006,14(6): 754-758. (SCI: 122ZM, EI: 20070210357871)

5. 李运锋,袁景淇,头孢菌素C发酵过程状态变量及效益函数预报方法,化工学报,2005, 56(7): 1281-1283. (EI:05359331303)

6.李运锋,袁景淇,生物发酵过程效益函数的在线预报,上海交通大学学报,2005,39(8):1341- 1343 + 1348. (EI: 05399387318)

7. 李运锋,袁景淇,薛耀锋,发酵过程中神经网络训练样本的选取,化工自动化及仪表,2004, 31(6):21-24. (EI:05279198086)

8. 李运锋,袁景淇,薛耀锋,生物发酵过程关键变量预报系统设计及应用,计算机工程,(EI 源),2005,31(23): 183-185.

9. 李运锋,袁景淇,神经网络预报在发酵过程异常诊断中的应用,生物工程学报,2005,21(1):102-106.

10.王卓,袁景淇,李运锋,多罐并行发酵过程的弹性停罐调度策略,上海交通大学学报,2004,38(9): 1548-1551.(EI:04538760045)

11. 薛耀锋,袁景淇,李运锋,王卓,基于COM的发酵过程调度优化软件开发,微型电脑应用, 2004,20(8): 33-35.

12. 焦晓红,耿秋实,方一鸣,李运锋,液压伺服并联机器人的自适应鲁棒跟踪控制,系统仿真学报,2003:15(3):401-403

13. 焦晓红,李运锋,方一鸣,耿秋实,一种机器人鲁棒自适应控制法,机器人技术与应用,2002,3:40-43

14. 焦晓红,耿秋实,方一鸣,李运锋,并联机器人的鲁棒自适应控制,机器人技术与应用,2002,4:22-25

15. 李运锋,焦晓红,耿秋实,方一鸣,一种具有全局稳定的L2增益机器人控制器设计方法,自动化理论、技术与应用.2002,9:212-216

16. 耿秋实,焦晓红,方一鸣,李运锋,并联机器人的H∞鲁棒自适应控制,自动化理论、技术与应用,2002,9:78-82

发明专利

1. 李运锋，基于机器视觉的光刻装置对准系统与对准方法，CN200810034477.6

2. 李运锋、陈延太、韦学志、陈勇辉、周畅，硅片对准信号的处理方法，CN200810035115.9

3. 李运锋、王海江、赵新、韦学志、宋海军，一种硅片标记捕获系统与方法，CN200910047030.7

4. 李运锋、王海江、赵新、陈延太、韦学志，光刻技术中对准信号的处理方法，CN200910049046.1

5. 李运锋、韦学志、徐荣伟、陈勇辉、周畅，一种用于光刻机对准的标记以及使用该标记的对准方法，CN200710045495.X

6. 李运锋、韦学志、徐荣伟、陈勇辉、周畅，对准系统和对准标记，CN200710045496.4

7. 李运锋、韦学志、徐荣伟、宋海军，用于光刻设备的对准系统、对准方法及增强型对准标记，CN200810039465.2

8. 李运锋，对准标记的对准扫描方法，CN200910200223.1

9. 李运锋、王海江、韩悦、胡明辉，用于光刻设备的对准信号采集系统与对准方法，CN200910201611.1

10. 李运锋、王海江、宋海军、韦学志，光刻机的对准信号的周期测校方法，CN200910247635.0

11. 李运锋、赵新、韩悦、韦学志，对准标记测量信号处理方法，CN201010177516.5

12. 李运锋，一种信号归一化掩模对准系统，CN201010250440.4

13. 李运锋，一种环境补偿对准系统，CN201010250448.0

14. 韩悦、李运锋，一种基于多个不同波长的对准方法，CN200910194853.2

15. 韩悦、李运锋、赵新，基于双光源多级次的对准系统及其对准方法，CN200910052799.8

16. 韦学志、李运锋、徐荣伟、周畅、陈勇辉，一种用于光刻设备的对准系统，CN200710044152.1

17. 李欣欣、李运锋、韦学志、宋海军，一种用于光刻设备对准系统的对准标记结构，CN200810040234.3

18. 李欣欣、李运锋、韦学志、宋海军、张勇，精确确定空间像高大小的方法，CN200910198352.1

19. 韦学志、李运锋、徐荣伟、周畅、陈勇辉，用于投影扫描光刻机的对准方法及微器件制造方法，CN200710044153.6

20. 陈振飞、李运锋、张勇，一种使用信号处理的方法进行硅片对准的对准系统及方法，CN200810041493.8

21. 陈延太、宋海军、李运锋，光刻机硅片对准信号的处理方法，CN200910055927.4

22. 程鹏、韦学志、李运锋、王海江、唐文力、陈振飞、刘强，对准光强信号采集与解调装置，CN200810204355.7

23. 杜聚有、徐荣伟、宋海军、韦学志、李运锋、戈亚萍，一种用于光刻设备的对准系统及对准方法，CN200810041152.0

24. 唐文力、王海江、凃泽恩、宋海军、李运锋，掩模对准系统及其方法，CN200810203806.5

25. 王海江、程鹏、李运锋、唐文力、陈振飞、刘强、宋海军、韦学志、胡明辉，用于光刻设备的对准标记搜索系统及其对准标记搜索方法，CN200910046308.9

26. 徐荣伟、韦学志、李运锋、周畅、李铁军，一种光刻装置和用于光刻装置的对准系统及对准方法，CN200710045580.6

27. 徐荣伟、韦学志、李运锋、周畅、李铁军，一种对准标记和对其成像的光学系统以及成像方法，CN200710045579.3

28. 韩悦、李运锋，一种标记期望位置确定方法，CN201010619057.1

29. 胡明辉、李运锋，用于光刻装置的对准系统及对准方法，CN201010137228.7

30. 朱正平、李运锋、宋海军、韦学志，一种提高对准精度的对准扫描方法，CN201010582193.8

31. 胡明辉、李运锋，掩模对准自适应扫描方法，CN201110086178.9

32. 朱正平、李运锋、宋海军、李欣欣，离轴信号处理方法，CN201110187349.7

33. 陈小娟、李运锋、赵正栋，光刻机掩模的对准扫描方法及对准信号处理方法，CN201110187358.6

34. 赵正栋、李运锋、陈小娟、赵新、宋海军，光刻设备对准方法，CN201110074407.5

35. 钟芳、李运锋、王海江、宋海军，用于光刻设备的集成传感器，CN201110086796.3

36. 王海江、李运锋、唐文力、程鹏、曹佩、宋海军，用于掩模对准的探测器系统及方法，CN201110204032.x

37. 陈小娟、李运锋、赵正栋、赵新，用于掩模对准的对准信号采集系统及对准方法，CN201110272730.3

38. 王海江、李运锋、唐文力、程鹏、曹佩、宋海军，一种自动增益系统信号与增益同步采集装置与方法，CN201010621219.5

39. 韩悦、韦学志、李运锋、宋海军，基于多周期标记的色动态选择方法，CN200810033263.7

40. 朱正平、李运锋、韦学志、宋海军，一种提高对准扫描成功率的方法，CN200910199599.5

41. 王海江、唐文力、李运锋程鹏、陈振飞宋海军、韦学志、胡明辉，一种用于DUV光刻装置的掩模对准面形探测装置，CN201010135955.x

42. 戈亚萍、徐荣伟、李运锋，一种激光束偏移测量装置和方法，CN201110068068.x

43. 陈延太、宋海军、韦学志、李运锋、王海江，一种基于正交化模型的离轴信号处理方法、装置及系统，CN201010164981.5

44. 唐文力、王海江、陈振飞、程鹏、李运锋，一种电光相位调制器谐振频率检测装置及检测方法，CN201010118296.9

45. 王海江、王诗华、戈亚萍、唐文力、李运锋、程鹏、陈振飞、宋海军、韦学志、胡明辉，硅片对准光源幅度调制装置，CN201010173160.8

46. 王海江、唐文力、程鹏、陈振飞、李运锋、宋海军、韦学志，一种对准信号模拟发生装置，CN201010292198.7