离子注入气

气体工业名词，离子注入是把离子化的杂质，例如P+，B+，A+s加速到高能量状态，然后注入到预定的衬底上。离子注入技术在控制Vth（阈值电压）方面应用得最为广泛。注入的杂质量可通过测量离子束电流而求得。离子注入工艺所用气体称离子注入气，有磷系，硼系和砷系气体。