元元贞元年（1295年），升昆山县为昆山州，仍属平江路。至正十六年（1356年），张士诚取平江路，改称隆平府，昆山县属隆平府。次年，张士诚降元，隆平府复为平江路，昆山州属平江路。至正二十七年（1367年），平江路改为苏州府，昆山州属苏州府。 明洪武二年（1369年），降昆山州为县，仍属苏州府。