词条 | 层错 |
释义 | 层错:硅单晶沿[111]方向生长,原子排列次序一定是 AA’BB’CC’…,但是由于某种原因,原子排列不按正常次序生长AA’BC’AA’BB’CC’…,这样原子层产生了错排。 产生的原因:固液交界面掉有固体颗粒或热应力较大,过冷度较大等都可能造成层错面缺陷的产生,当衬底表面有机械损伤、杂质、局部氧化物、高位错密度等都有可能引起层错的产生。 层错常常发生在外延生长的硅单晶体上,当硅单晶片经过900~1200℃热氧化过程后,经常可发现表面出现层错。这些由氧化过程引起的层错,称之为OISF。 因为每个层错都结合着部分位错,所以层错对硅单晶片的电性质影响与位错相似。 对电子器件的影响 1)增加漏电流 2)降低栅氧化层质量 3)造成击穿 成核位置: 1)外在因素。当受到机械上的损伤时,损伤处高悬挂键吸附杂质及再经过热氧化的过程之后,即易引起层错的层错的发生。 2)内在因素。在每个OISF的中心常可以发现板状的氧沉淀,因此板状氧沉淀被认为是其成核中心。 成长:与热周期的氧化温度、时间、气氛环境、结晶方向、杂质浓度等因素有关。其生长速度随着氧化速率及温度的增加而增加。 缩小:在非氧化气氛下进行高温热处理,将导致OISF的缩小。 晶棒热历史:CZ硅单晶棒在900~1050℃的冷却速度是影响其产生的关键温度。如果CZ硅单晶棒在这个温度内冷却速度较慢的话,会形成较多O2V,将成为OISF的成核位置。因此我们可以增加晶棒在这段温度的冷却速度,就可以避免OISF环的产生。 拉速: OISF环的直径通常随着晶体生长时的拉素增加而增加。 |
随便看 |
百科全书收录4421916条中文百科知识,基本涵盖了大多数领域的百科知识,是一部内容开放、自由的电子版百科全书。