金春水 研究员

1964年10月生，博士，研究员，博士生导师。应光室短波光学学科方向学术带头人，863-804主题X光激光研究专题专家组成员。1987年毕业于浙江大学光学仪器工程学系；1990年在长春光机所获硕士学位；2003年在长春光机所获博士学位。主要从事紫外、极紫外－软X射线光学技术研究。

完成了国内第一套极紫外投影光刻原理装置的设计与研制，获得了极紫外投影光刻复制的150nm线宽掩模图形，实现了极紫外投影光刻的原理性贯通。在“日盲”紫外成像探测技术研究方面，主持研制了“日盲”紫外/可见光双谱段探测定位系统，完成了总体方案设计、光学系统设计、深度截止“日盲”型紫外带通滤光片膜系结构设计，研制成功我国首台可在日光条件下工作的“日盲”紫外/可见光双谱段成像探测定位仪，为我国的电力工业部门提供了一种全新的高压电气设备电晕探测手段。

近年完成国家自然科学基金重点项目、863项目、省杰出青年基金项目、国防科工委民口配套项目、电力工业部门项目各一项；培养博士研究生4名、硕士研究生5名；申请发明专利3项；发表学术论文二十余篇。