激光长度测量(laser length measure)

利用激光精密测量长度。将激光和迈克尔逊干涉仪相结合，可得到激光干涉测长仪。测量时，干涉仪的一臂不动，另一臂从被测长度的起点移动到终点，记录下相应干涉条纹变化的数目，就可以计算出长度值。由于激光的单色性，即相干性很好，可精密测量的长度非常长，可达几十米至几百米。并且激光的波长较短，测量的精度非常高，可达0.1微米。目前激光测长仪已被广泛用来进行各种精密长度测量，例如长度基准-米尺的精确测量，中国利用激光测长仪进行测量，误差小于O.2微米，达到了国际水平。在大规模集成电路生产中，要求制作的误差小于1微米。用普通机械精密丝杆定位，误差为4~5微米，不能满足要求。激光测长仪的精度较高，将激光测长仪的传动装置改装成快动和微动相结合的运动系统，就构成一台激光微定位仪，可以满足超大规模集成电路的生产要求。